產(chǎn)品名稱(chēng)：電容薄膜真空計
產(chǎn)品描述
電容薄膜規是?種膜?受到壓?后產(chǎn)?形變的引起電容變化并將其轉化為電信號的傳感器，信號的強弱由其檢測的壓???決定。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 測量全程數字化，量程在范圍內任意遷移
? 數字通訊，避免?次儀表誤差，簡(jiǎn)化控制設備
? 強?的抗過(guò)載能?
? 快速的響應時(shí)間
? 實(shí)測性能超越對外發(fā)布規格
? ?精度，?穩定性
? 超寬補償溫度范圍：-20~＋80 ℃
? 模擬信號任意遷移
? 量程范圍: 10%-100%
? 替代傳統模擬信號電容薄膜規
? 快速開(kāi)機預熱時(shí)間5s
? 壓?誤差：2.0‰，電壓誤差：1‰
產(chǎn)品應?
? ?要求的應?條件下， ?快速的壓強測量
? ?于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導體制造設備
? 半導體，光學(xué)，航空航天和化學(xué)制造
? 冷凍，?燥制造設備
? ?精度，?重復性真空測量
? ?業(yè)真空設備
性能和參數
供電 :24VDC（紋波?于10%）
?作電流 :20mA
輸出阻抗 :0（短路保護）
響應時(shí)間:<100 ms
調零?式 :?板按鍵或軟件寫(xiě)?
過(guò)載壓? :>5atm
輸出 :,0～10VDC， 4-20mA，，RS485等
重量 :約285克
繼電器輸出: 2xRelay
繼電器負載:2A 30VDC 0.5A 125VAC
電?連接 :D-Sub 9
溫度補償范圍: -20-80℃
精度 ±0.2%RDG:（±零點(diǎn)漂移，±分辨率）
使?溫度范圍;-40-125℃
溫度影響: 0.005% F.S./℃
儲存溫度范圍: -40-125℃
分辨率；0.01%F.S.
防護 ：IP40
介質(zhì)接觸材質(zhì)： Al2O3 和316L不銹鋼
外殼 ：316L不銹鋼
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